LTCC内埋置电容和内埋置电感的参数提取及特性分析

2．2VIC电容模型参数[3]的提取VIC结构的电容的实质就是电容的并联，可以看出四块平板其实形成了3个并联的电容。因此在相同的面积下，VIC电容的值大概是MIM电容的3倍。电容的大小不仅与平板的面积和相互距离有关，还跟地面与平板的距离也有很大关系。多层交义式电容的层数越多，面积就越小，电容值就越容易做大。如果要设计一个电容值为C的一个4平行板电容，其计算公式如下：

其中，晶为真空中介电常数，￡，为相对介电常数。先算出要实现所需电容值c，双平行板结构电容器需要的平板面积，然后取它的l／3就是我们需要的面积大小。当然这样得到的值会因为边缘效应的存在并不是很准确，但足计算出的结果与实际测量值之间的误差不是很大，可以在初始设计中使用。如果通过电磁场仿真或实际测量得到了电容的S参数，则电容的输入阻抗Z。和有效电容值巳，电纳值B可用如下式子(9)计算：

由HFSS的仿真结果以及相关公式可以归纳出：(j)随着上下地间LTCC介质层数的增加．有效电容变化不大，由]：串联电感L将增大，自谐振频率降低。虽然电容极板对地寄生电容减小了，却是以介质层数和体积的增加为代许，因此设计时需要折中考虑；(2)随着极板面积的增大，主电容值C也将增太，同时极拉对地寄生电窖也增大，电感值将微弱减小，自谐振频率会降低；增加授板的数目，丰电容值和极板对地寄生电容也都增大，自谐振频率也会降低。因此增大电容极板面积和增加极板数目作用似乎相同：(3)根据附录可知，增加极板间通孔数目对主电容和对地寄生电感影响较小，却能明显减小串联电感．从而提高自谐振频率。但运孔数日太多又会增加生产的复杂度，这也需要综合考虑；(4)由于通常的LTCC工艺限制使得电容值误差在10％左右，为了减小制造公善对电容设计精度的影响。在不影响电容特性的前提下．可采用电窖板输入输出端呈水平垂直放置，电窖器极板重叠部分的大小分别由上下两块极板的宽度所决定。1

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