微电子机械系统(MEMSMicl_0-ElccRo-Mechanic．alSystems)起源r上世纪50石0年代．是新兴的、跨多学科的高科技领域””。早在七十年代，美国学者就提出了基于硅半导体材料的微机械的设想．到了1988年．美国加州大学伯克利分校Mullet研究小组发表的转子真径为6¨loo岬的硅静电马达在当时引起了轰动．于是到1989年，NSF召开的研讨会上首次提山了MEMS一词，从此MEMS一词新渐成为一个世界性的学术用语．MEMS技术的研究开发也日益成为国际上的一个热点。MEMS将微电子系统和其它微型信息系统相结合，从而可以将非电学领域的问题转化为电学领域，利用电学领域已有的成果进行处理和研究i而且电学领域的问题也可咀转化为非电学领域进行处理。
MEMS的出现和应用．是要把信息获取、处理和执行一体化的集成在一起．使之成为真正的信息处理系统，因此它对信息技术的革命意义是不言而喻的．MEMS的这种优势使得其发展相当迅速，在信息、通讯、航空、航天、生物、医疗、环保、工业控制等领域都有广泛的应用前景。目前国际上通常将^砸MS冠以lnc柑a1．．oDtic小．Chemical．．Bio-．RF．．power-等前缀咀表示不同的应用领域。总之，有理由相信，MEMS技术是微电子技术的又一次革命，它对2l世纪的科学技术，生产方式和人类生活都会产生深远的影响。
RFMEMS(RadioFrequencyMEMS)是MEMS在射频／微波频段的应用．它在移动电话和不断更新换代的消费类电子产品和其它rr方面的应用的推动F，将是MEMS的领域里最具发展潜力的分支方向。其应用市场锖售额从2004年的$125)1lil]ioD到2009年将超过$1．1bilfion㈣(圈1．3)。)RFMEMS开关、变容器和电感：能够在Dc，120GHz范围内工作，目前也是相对成熟的技术。
(2)微加工传输线、高O谐振嚣、滤渡器和天线：适合于12-200GHz范围内工作。通常集成在薄绝缘介质上或使用体硅微机械加工技术制造．但是没有机槭移动部分。(3)FBAR(薄膜体声波谐振器)和滤波器：利用薄膜的声波振动原理．直到3GHz都能表现出优异的性能和高O值(>2000)。最近．用FBAR技术研制出无线应用的小型低损耗滤波器。(4)RFMEMs谐振器和滤波器：利用极小粱的机械振动，在0．01．200蛐qz并在真空中完成高0值谐振。在这种情况下，机械移动在几十个A的量级。利用这种技术已经制备出200k任Iz范围的高Q值(>80CO)谐振器，但二级滤波器仅能工作到10MHz范围。RF?v但MS之所以能够成为镟电子机械系统研究的一个热点，是因为RFIV哐MS除了具有MEMS技术特有的优势以外，相对于传统的通信元件它还具有低损耗、线性度好、频带宽、品质因数高、易于与Ic相集成的优点”¨q。总之，RFMEMS的前景一片光明。RFMEMS与Ic集成的昂终实现会带来诸多优点：提高提高系统工作性能、减少制作成本、小型化和开拓诸如可重构无线通信等新市场。因此，为了获得高品质的片上电感，人们根自然的就把目光投向RFMEMS。1
产品概述滤波电抗器用于低压滤波柜中，与滤波电容器相串联，调谐至某一谐振频率，用来吸收电网中相应频率的谐波电流。低压电网总有大量整流、变流、变频装置等谐波源，其产生的高次谐波会严重危害主变及系统中其它电 鉴于目前已有的感知时隙与周期优化算法通常忽略授权用户的出现概率，造成感知性能 和传输效率下降的问题，因此提出了一种基于授权用户出现概率的感知时隙与周期联合优化算 法．新 1、 径向型的插件电感： 插件功率电感由于它有直线引脚的原因；而直接基板是以插件的方式安装；所以称为插件电感；行业中也叫做工字电感；是因为此电感的磁芯是工字结构；采用磁芯接脚；引脚接到磁芯上；然后
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