电感耦合式等离子清洗系统及其在微波管制造中的应用

气体被激发到等离子态有多种方式，如激光、微波、电晕放电、热电离、弧光放电等多种方式。在等离子清洗应用中，主要是利用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体(Ar：，N。，H：，02等)在高频低压下被激发，产生含有离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子。一般在等离子清洗中，可把活化气体分为两类，一类为惰性气体的等离子体(如Ar,，N。等)；另一类为反应性气体的等离子体(如O。，H：等)。这些活性粒子能与表面材料发生反应，其反应过程如下：

等离子清洗技术能够清除金属、陶瓷、塑料、玻璃表面的有机污染物，可以明显改变这些表面的洁净度及焊接强度。离子化过程能够容易地控制和安全地重复实现。可以说，有效的表面处理对于产品的可靠性或过程效率的提高是至关重要的，等离子技术也是目前最理想的清洗技术。

应耦合式等离子体及其优势．感应耦合式等离子体的工作原理，就是在线圈上加一个射频电源，当线圈上的电流改变时，根据安培定律可知，交变的电场产生交变的磁场，当电场变化时感应产生一变动磁场，同时可由法拉第定律知道变动的磁场会感应出一个反方向的电场，此电场会加速等离子体中的电子而形成与线圈电流相反的二次电流。并且随着与加于线圈上的电流不断改变，而感应出的电场也不断改变，这不断改变电场与平板式高调波等离子体一样能用来加速电子以维持等离子体，所不同的是电场与电极方向不同。在乎板式高调波等离子体中电子受电场影响而运动方向垂直于电极，所以会有许多电子逃离等离子体跑到电极上，使能量消耗在加热电极上，而在感应耦合式等离子中，电子受感应电场的影响而使运动方向与电极平行，因此不会有太多的电子损耗在电极上，固可以维持线圈周围相当高的电子密度。ICP的主要优点为：①等离子体密度高、解离率高，能够在相当大的压力范围上保持高密度等离子体；②平板式ICP可大面积操作I③ICP等离子体中的电子温度低、离子动能低、等离子体电位低；④等离子体密度及离子撞击基板的动能可分开控制；⑤设备简单。1

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