MEMS．LC无源滤波器的研究现状

作为RFMEMS电感的重耍应用，LC无源滤波器可以比较精确和方便的调节LI王路的蚓有频率并且能够有效的缩小版图面积，提高集成座。目前MEMS-LC无源滤波器的研究主要分为两个部分MEMS-LC嗣定频率滤波器和MEMS-LC可调谐滤波器。

MEMS-LC固定频率滤波器JaeYeong等Ⅲ1采用表面微机械加工_J：艺制作了基于高架悬空厚铜MEMSL乜感和MIM电容的LC滤波器．如图11l(a)。采用厚铜电镀的MEMS电感距离村底约60微米，在09—25GHz，15,-．40nil的电感的品质因数达到40～50。清华人学m1采用以多孔硅作为牺牲层的悬空MEMS电感和MIM电容制作了基于共面波导(CPW)传输线的LC低通滤波器．如图l11(b)。MEMS电感结构悬浮在衬底上的一层二氧化硅支撑薄膜上(图1．7)。该滤波器的．3dB带宽为2639GHz，在1GHz时的插入损耗为0177dB。

MEMS—LC可调谐滤波嚣可调滤波器具有很大的商业录l军事价值，它极人地减小了多颇带应用中的模拟前端系统的尺寸，升可以动态的控制干扰信号。日前人部分的MEMS—LC可调滤波器多栗川变容器和l开关电容(阵列)的方式实现米实现调谐．而滤波器中的电感，一般采川高O值的RFMEMS电感、传输线电感甚至片外电；出的形式。滤波器的调口范曝受限TMEMS电察的CordCoff比值或开天电弈阵列的容值变化范围。

幽112为Park等”。l在玻璃村底上制作的268GHz的毫米波可调带通滤波器，该滤波器采J}j集总元件实现，10B带宽为3％，由悬臂粱可变电容和高品质因数(Q：85@26G№)的电癌组成。当变容器的偏置电压为50V时，测量出的滤波嚣调谐范围为06GHz(23％)，ldB带宽为3％时插入损耗为49dB。

美国Rockwell公司使用MEMS叉指型可变电容和片外电感制作了260～330MHz的二阶可调带通滤波器o“，如图l13。由于使用了高电阻率的硅衬底，MEMS可变电容的Q值在300MHz为60-80，其电容值可从1．4pf变化到11．gpf,可咀实现8．4：1的电容比。对于带宽为25％的ldB滤波器，测量的通带内插入损耗为4^树B。1

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一、引言在工业快速发展的今天，三相电源作为工控系统的最直接能源来源其突出作用是显而易见的，因此，对其进行合理的逻辑指示控制显得尤为重要。在传统工业控制中，我们强调的是确保外部电源相序接线的准确性，否则

3.1 电源线滤波器电源线功率电感滤波器安装在电源线与电子设备之间，用于拟制电能传输中寄生的电磁干扰，对提高设备的可靠性有重要作用。滤波器允许一些频率通过，而对其它频率的成份加以拟制。根据干扰源的特

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