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半导体技术的快速发展以及无线通信的低功耗

来源:    作者:     发布时间:2013-03-17 19:12:00     点击数:

在RFMEMS电感的基础上,研究了MEMS电感在LC无源滤波器中的应用。本文简要介绍了LC无源滤波器设计的基本理论,设计并模拟了儿种基于MMICI艺线的MEMS.LC低通/带通滤波器。模拟结果表明,由于寄生效应的影响,MEMS-LC滤波器的滤波特性与设计指标有一定差距,但在可以接受的范闱内;在各自通带内引入的插入损耗不超过3.8dB,完全可以满足一定的融:应用要求。对55所MMIC工艺线加工的MEMS平面螺旋电感和MEMS.LC低通/带通滤波器进行了测试。测试结果表明,一个3nil的架空电感(衬底未刻蚀)在在7.9GHz时的品质因数为15.8,自谐振频率达到到17GHz;测试结果验证了制作的四种MEMS-LC低通/带通滤波器的性能满足设计要求。

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