(1)任何物质均可以溅射,尤其是那些高熔点、低蒸汽压元素和化合物。无论是金属、半导体、绝缘体、化合物和混合物等,只要是固体,无论是块状、粒状的物质都可以作为靶材。由于溅射氧化物等绝缘材料和合金,几乎不发生分解和分馏,所以可用于制备于靶材料组分相近的薄膜和组分均匀的合金膜,乃至成分复杂的超导薄膜。此外,采用反应溅射法的话,还可以制得与靶材完全不同的化合物薄膜,如氧化物、氮化物、碳化物和硅化物等。
(2)溅射膜与基板之间应附着性好。由于溅射原子的能量比蒸发原子的原子能量高l~2个数量级,因此高能粒子淀积在基板上进行能量交换,产生较高的热能,增强了溅射原子与基板的附着力。而且一部分高能量的溅射原子将产生不同程度的注入现象,在基板上形成一层溅射原子与基板材料原子相互“混溶”的所谓扩散层。此外,在溅射粒子的轰击过程中,基板始终处于等离子区中被清洗和激活,清除了附着不牢的淀积原子,净化且活化了基板表面。因此,使{;导溅射薄膜层与基板的附着力大大增强。
(3)溅射镀膜密度高,针孔少,且薄膜的纯度较高。因为在溅射镀膜过程中,不存在真空镀膜时无法避免的坩锅污染现象。
(4)薄膜可控性和重复性好。由于溅射镀膜时的放电电流和靶电流可分别控制,通过控制靶电流则可控制薄膜。所以,溅射镀膜的膜厚可控性和多次溅射的薄膜膜厚再现性好,能够有效的镀制预定厚度的薄膜。此外,溅射镀膜还可以在较大面积上获得厚度均匀的薄膜。当然磁控溅射也存在缺点:第一。不能实现强磁性材料的低温高速溅射,因为几乎所有磁通都通过磁性靶子,所以在靶面附近不能外加强磁场;第二,使用绝缘材料靶会使基板温度上升;第三,靶子的利用率较低(约30%),这是由于靶子侵蚀不均匀的原因。1
常用的单片机系统RAM测试方法 LED被称为第四代照明光源或绿色光源,具有节能、环保、寿命长、体积小等特点,可以广泛应用于各种指示、显示、装饰、背光源、普通照明和城市夜景等领域。近年来,世界上一些经济 在实际的语音系统中双声道立体声是一项应用最为普遍的技术,他是利用人们的听觉错觉,通过改变两个扬声器的声级差,能使聆听者前方产生一定角度的声音方向信息,从而使人们在聆听时有“身临其境”的听觉感受。然而目 浅谈我国低压电器产品市场:1低压电器产品需求的基本特点 低压电器的用户主要是电力工业,此外还有石化、煤炭、冶金、建筑业以及民用等,低压电器生产厂家的产品绝大多数由低压成套设备厂家所购买,然后组装成配电
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