通信系统的单片集成具有降低成本、功耗、面积、实验费用,增加可靠性、精度高和设计灵活性的好处,现代半导体技术的快速发展对通信系统的集成化起到了巨大的推动作用。尽管如此,未来通信系统集成技术的制约冈素仍然存在:那些体积大、昂贵的片外无源I心元件,例如高Q值电感、电容、变容器和陶瓷滤波器等,它们在系统中不仅占据较大的空间,而且消耗较多的功率,成为系统小型化与便携化的瓶颈。本文围绕RFMEMS电感及其在LC无源滤波器中的应用这个课题展开了深入和细致的研究,以下是本文所做工作的总结:
1.综述了国内外RFMEMS电感和MEMS.LC无源滤波器的研究现状。介绍了片上电感的基础知识,包括RF片上平面电感的物理结构和简单等效电路模型,详细讨论了等效电路参数的计算和萃取方法。采用理论分析和有限元软件模拟的方法研究了片上平面电感的趋肤效应、邻近效应、衬底涡流效应和分布效应,分析了这儿种效应的等效电路形式。
2.首次提出衬底涡流影响因子和分布效应发生频率的概念,能够准确反映衬底涡流效应和分布效应与衬底电阻率、电感线圈长度等参数的关系。一个制作在低阻硅和高阻硅衬底上的6.5圈,线圈长度为30609m的电感L,其衬底涡流影响因子分别为0.3和0.04,分布效应发生频率分别为14.5GHz和1.5GHz;实验表明,高阻硅上电感L的简化等效电路模型仍具有较高的精度,误差在7%之内。为分析和简化片上电感等效电路模型提供了一种有效的途径,并由实验测试结果验证了这种简化途径的合理性,特别适合高电阻率衬底上的小尺寸电感的模裂简化和建立。
3.针对目前RFIC最常使用的CMOS-T艺和MMIC工艺分别设计了与之相兼容的两种RFMEMS电感并进行了软件模拟和讨论。HFSS模拟结果表明,相比传统单层电感,双层螺旋电感可以减少60%的芯片面积,即使10nH的电感也只需要很小的面积;经过MEMS后处理的双层螺旋CMOS电感的最大Q值达到20-一个经过MEMS后处理的3.6nH的平面MMIC电感的品质因数达到19.4,自谐振频率超过15GHz。1
摘要:为了研究PCB(pdntedcircuitboard)平面电感的电磁辐射问题,基于天线理论把平面电感线圈中的每一圈看作一个环形天线,估算了其远场辐射功率,说明其电磁辐射非常小,可以忽略不 我们知道电容器两端的电压不能突一体电感器打样 变;对电感而言则是电感器两端的电路不能突变;这一点电容器和电感器又是有所不同的。 当流过电感器的电流大小发生改变时;电感器两端要产生一个反向电动 1 引言水路运输,特别是内河中小型船舶运输在全国交通网中占有不可或缺的地位。船舶的安全航行,离不开船舶发电机连续可靠供电的保证。船用发电机保护的主要内容有:短路保护、过载保护、欠压保护、逆功率保护。由
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