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在薄膜变压器研制

来源:    作者:     发布时间:2013-02-21 16:46:40     点击数:

在薄膜电感研究方面,以薄膜电感的设计与制作为重心,采用理论计算与实验制作共进的研究模式。首先基于Biot-Savat定律,推导不同绕线形状电感的理论计算式,并根据理论计算结果设计了不同电感值的薄膜电感,首次提出多层薄膜磁场分布的传输线模型。其次,研究了薄膜电感所使用的CoNbZr高频软磁薄膜材料的性能,并利用真空磁控溅射设备在10mm×lOmm的PCB板、20咖×20mm陶瓷基片上制作了薄膜电感。最后,测试了薄膜电感的性能,研究了薄膜厚度、绕线形状等对薄膜电感使用频率、品质因素、电感值的影响,并与理论计算结果进行比较。实验结果表明,推导的薄膜电感计算式能较好的符合测试结果,所制作的IT用薄膜电感可用于1MHz一1GHz的射频段,扩宽了电感的佼用频段,并使电感从三维向两维空问发展,减小了电感的体积、重量,满足了器件“小、轻、薄”发展的需求。

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